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6英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

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RTP-Ⅱ-CSS-150是一款6英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,腔体采用高真空不锈钢,此款设备可用于蒸发或CSS镀膜实验,氧化物、半导体或者太阳能基片退火实验,其载样台尺寸为Φ150,顶部载样台可以旋转提高镀膜均匀度。此款高温炉的加热原件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部)。最大升温速率是20℃/S

  CSS

 

 

 

 

      

型号

RTP-Ⅱ-CSS-150

视频

最高温度

 900℃

电源电压

 AC三相380V

功率

 16KW

 

 

 

腔体结构和真空室

 

 

双加热器,两个温度控制器,可单独控温 

真空腔体采用304不锈钢结构,正前方带有直径100mm的观察窗 

真空法兰由304不锈钢制成 

法兰由硅胶O型圈密封,可通过机械泵实现1Pa的真空压力 

 

 

 

加热器和样品架

 

 

 

 

两组短波红外灯作为加热原件,用于快速加热 

 两个加热器之间的距离可在10~60mm之间调节

 上下加热器之间配备挡板

 上加热器可旋转,转速为0~30rpm

 加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,可减少热辐射并实现快速冷却

 6英寸圆形晶圆支架内置顶部加热器,可装载基板

 采用导热率较高的氮化铝板陶瓷片(直径6英寸×0.5mm厚)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

 两个英国进口欧陆3204数字温度控制器,控温精度±1℃,可独立控制顶部和底部加热器

测温方式

 两根K型热电偶,一根测上加热台,一根测下加热台

控温方式 

采用欧陆3204程序控温仪表

1、高精度的温度仪表,LCD液晶显示屏,5位数值显示,通过快速设置配置简单,C/F单位切换

2、1组程序8步,共4组程序

3、具有过温保护 断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过900度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

4、支持各种通讯接口 Modbus, Ethernet, Profibus,Devicenet,可以与任意PLC或上位系统集成

5、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

6、仪表具有温度自整定的功能

                                 

       欧陆仪表    

工作温度 每个加热器最高温度≤900℃,两个加热器之间的最大温差≤300℃ 
 真空泵 机械泵型号:BSV30 
抽速:8L/s 
 功率:1.1KW

冷水机    

         CW6200

      

 电源

3PH-380V/50HZ

 总功率

8KW

 最大扬程

 30M

冷冻水量

2.8m3/h

 水箱容量

 110L

 制冷量

13244Kcal/h

 出入水口

 Rp1/2’’

 机器尺寸

1300×650×1145(长X宽X高)

 

 

真空蒸镀设备主要由真空室和抽真空系统组成,真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、排气系统等。

将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中,在高真空条件下,通过蒸发源加热使其蒸发,当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后,膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍,可直接到达被镀的基片表面上,由于基片温度较低,膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。

为了提高蒸发分子与基片的附着力,可以对基片进行适当的加热或离子清洗使其活化。真空蒸发镀膜从物料蒸发、运输到沉积成膜,经历的物理过程如下:

(1)利用各种方式将其他形式的能量转换成热能,加热膜材使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1~0.3eV)的气态粒子(原子、分子或原子团):

(2)气态粒子离开膜材表面,以相当的运动速度基本上无碰撞的直线输运到基片表面;

(3)到达基片表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜;

(4)组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合

 



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